近日,臨港新片區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域不斷傳來好消息。昨天,盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司位于臨港新片區(qū)的上海臨港研發(fā)及生產(chǎn)中心項目正式啟動。12月28日,積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線首臺光刻設(shè)備搬入臨港工廠,標志著積塔半導(dǎo)體從建設(shè)期向生產(chǎn)運營期邁出重要一步,為2020年底實現(xiàn)批量生產(chǎn)打下基礎(chǔ)。
圖說:盛美半導(dǎo)體設(shè)備公司正式啟動臨港研發(fā)及生產(chǎn)中心項目。主辦方供圖
盛美公司是首家赴美上市的中國半導(dǎo)體設(shè)備公司,致力于為集成電路制造業(yè)提供先進的晶圓清洗和濕法加工設(shè)備,形成了以清洗機、電鍍機和先進封裝濕法設(shè)備為主的產(chǎn)品線。此次啟動的臨港研發(fā)及生產(chǎn)中心項目由盛美上海公司在臨港的全資子公司運營,該項目已納入盛美全球化發(fā)展的整體布局,將建設(shè)成為盛美全球主要研發(fā)及生產(chǎn)基地。
上海積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線項目是上海市重大工程,總投資359億元。該項目位于臨港裝備產(chǎn)業(yè)區(qū),占地面積23萬平方米,建成投產(chǎn)后,將進一步幫助完善臨港與上海打造集成電路產(chǎn)業(yè)高地布局,發(fā)揮產(chǎn)業(yè)集聚效應(yīng),加快建設(shè)具有國際競爭力的綜合性產(chǎn)業(yè)集群。